l机器型号：DAF-2000 / DAF-3000

l晶圆的尺寸：6、8、12、

l铁环的尺寸：6英寸/8英寸/12寸标准环

l膜的宽度：290mm、390mm

l贴膜原理：防静电滚轮贴膜,采用导轨式平移滚轮，机器自动贴膜

l晶圆台盘：通用特氟龙防静电涂层接触式台盘，台盘温度设定最高到70℃

lDAF膜分离原理：如下图，马达传动送膜滚轮，回收轴拉膜，通过刀口自动分离预切割膜。

l装卸方式：手动放置晶圆和铁环，其余有机器自动完成

l防静电控制：配防静电离子风和防静电涂层台盘

l电源:AC220V 50/60HZ.   10A

l压缩空气：0.5mpa

l机器尺寸：长1200*宽800*高2000mm