ADE系列是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序，配备PLC和触摸屏控制系统，可均匀的扩张晶粒之间的间距。

产品特点:  

Ø  扩膜的高度和速度可直接在触摸屏上设定；

Ø  适应MODTF2系列框架；

Ø  工作盘具有加热功能，有助于膜的延伸性；

Ø  调整工作盘上升的高度，即可调整晶粒之间的间距；

Ø  选配圆周刀划膜功能；

Ø  装有气弹簧，翻盖省力功能。